蛍光X線分析装置のフィッシャー社ネット店舗

蛍光X線分析装置・素材分析器の詳細 (膜厚測定器としても使用できます。)

創業1958年のフィッシャー社が業界に先駆けて開発してきた蛍光X線分析装置です。 X線管より発生したX線を試料に照射して、2次的に発生する各元素特有の波長をもった蛍光X線を高感度の計測管でスペクトル分析します。スペクトル種類により各元素が特定できるうえに、スペクトルの強度により各元素の質量や膜厚や濃度に換算できる。この装置は高度なソフトウエア処理により、高感度の定性分析と定量分析が非破壊でできる試験機となっています。 最大24種類の構成元素を含有する合金を素材分析したり、24層までの多層金属膜の測定ができます。また超微小コリメーター0.02x0.05mmにより100μm以下の構造体の素材分析が可能。高精度電動XYZステージでオートフォーカス付。 各種卓上試験機や真空中での計測用から量産ライン組込み用の蛍光X線式素材・膜厚分析システムまであります。
Xray1 DE XUL screw big Xray2 DE XDAL display Sn bulk big Xray3 DE XDV-SDD nonpvc big Xray4 DE XDV mueh display 2 big

固定試料台・下線源・測定室大
☆全自動 貴金属鑑定☆
XAN XULM

電動XYZ試料台・上線源
汎用型 XDL XDLM XDAL
高精度電動XYZ試料台・上線源
☆超高感度 XDV-SDD

高精度電動XYZ試料台・上線源
☆超微細部解析 XDV-μ

Xray5 DE XUV773 vacuum mirror 2 big Xray6 DE XRAY4000 complete big Xray7 DE Xray5000 2instr big Xray8 DE WINFTM spc-chart big

高精度電動XYZ試料台・上線源
真空中 高感度分析
☆宝石鑑定 XUV

ストリップ量産用
Conti 4000

ソーラーセル量産用
Conti 5000
Win FTM ソフト
square black 豊富なラインナップとオプション
固定のサンプル台でX線源が下のタイプと、電動XYサンプル台で上線源・電動Z軸オートフォーカス付のタイプ、電動XYZ付きで真空中やHe雰囲気で測定のできるタイプ、さらに量産インラインタイプにしたものなどに分類される。上線源タイプはサンプル保持をサンプル裏側で行い上側の測定面は非接触でできます。クロスヘア・内蔵カラーカメラ・光学デジタルズーム20~1108倍・レーザーポインター・オートフォーカスなどが機種の選択によりお使いいただけます。膜厚測定と同時に素材分析も可能なモデルです。
square black 特 徴
- 軽元素・微量成分領域においても最高の測定精度 spacer arrow 宝石鑑定に最適 spacer XUV773 spacer top3 DE XRAY gem big
- 使いやすく強力なソフトウエアWinFTM arrow 全自動で貴金属鑑定 XAN120
- 特製コリメーター0.02x0.05~0.34x0.67mmの選択が可能 arrow 100μm以下の微細エリアの分析 XDV-μ
- 業界最高の安全基準に準拠(微小スポット測定・安全カバーにより外部被曝防止)
- 大型フードやC型スリット(左右・前面スリット)により大型基板測定可能
- 固定ステージ(X線源下側)、電動XYZ、高精度電動XYZ(X線源上側)オートフォーカス付 から選択
- 1981年よりの長い経験と10,000台を超える実績
- DKDより公認でDIN EN ISO/IEC 17025準拠の高精度標準サンプルを認定証付きで発行
- ASTM B568、DIN 50 987、ISO 3497準拠で信頼できる測定システム
(注)機種により選択できないオプションがあります。仕様は改良などのため、予告なく変更する場合があります。
square black 代表的な使用例
- あらゆる貴金属の成分全自動分析 (貴金属鑑定:メッキ膜厚・成分同時測定)
- 宝石鑑定
- Zn、Ni、Cr、Cu、Ag、Au、Snなどの単層被膜。
- Feを下地とするSnPb、ZnNiおよびNiPのような二元合金被膜。
- Niを下地とするAuCdCuのような三元合金被膜。
- Cuを下地とするAu/Ni、Cuを下地とするCr/Ni、Niを下地とするAu/Ag、黄銅を下地とするSn/Cuなどのような複層被膜。
- プラスチックまたは鉄を下地とする、1層がCr/Ni/Cuのような合金層である複層被膜。
- 24層までの多層被膜(WinFTM®V.6使用時のみ)。
- 構成元素が4種類(またはWinFTM®V.6使用時には24種類)までの金属合金。
- めっき溶液中の金属イオン濃度の分析。                                              
DE XAN110 Monitor big
spacer
DE Gold coin 2
FISCHERSCOPE® XAN®120 ☆☆☆貴金属鑑定 向け全自動測定
特徴
- コスト的に有利な金合金分析に特化
- 貴金属自動判別ソフトにより、誰でも全自動判定が約60秒
- メッキ厚も同時に測定
- 固定のコリメータと固定のフィルタ。貴金属分析にとくに好適
- 半導体検出器(PIN)使用により、元素が多いやや複雑な分析にも最適
- 測定方向が下から上なので、サンプルのポジショニングが極めて容易
- 頑丈でメンテナンスフリー
- 標準板を使用しないでもFP法により同じように高精度・高速測定

代表的な使用分野 (貴金属産業)
装飾品産業や時計工業での金や貴金属の分析・貴金属買取
全自動で貴金属鑑定

仕様
測定元素:Cl(Z17)~U(Z92)
精度: 0.1wt% 以下(AUで)

コリメーター(アパチャ):Φ0.3mm
測定面積:直径1mmの丸型 (オプション2mm)
消費電力:120W (115VAC)
寸法: W380 x D570 x H340mm (測定室 W318xD509xH29-86mm)
重量: 42Kg
ビデオ倍率: 34~184倍 (カラーCCD、測定スポットインジケーター付)
X線源: 高性能Wチューブ(30,40,50kVの3段切り替え)、下側配置
ディテクター:電子冷却式シリコンPIN検出器

DE gold bracelet
DE Gold Ring
photo1 DE XAN110 gold jewelry big


spacer
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Xray10
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Xray10b

FISCHERSCOPE® XDAL® ☆汎用検出管・標準XY電動ステージ仕様

未知の材料分析と膜厚の自動測定を行うための、プログラマブル標準XYステージとZ軸を備えた蛍光X線測定器。

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特徴
半導体検出管(PIN)により未知の素材分析(Cl17より)と薄膜測定の応用範囲が大きい。 (優れたSN比)
マイクロフォーカス管と自動選択コリメーターによって小さい測定スポット(min.100μmΦ)が可能
C形スリット入りの大型で広々とした測定チャンバ(内高140mmH)
高速でプログラミング可能なXYステージ

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代表的な使用分野
薄いコーティングや低濃度も含む皮膜および合金の素材分析 、商品受入検査、製造監視、研究開発

電子産業: プラグや接点
金、装飾品産業および時計工業
基板製造における数nmの薄いAuやPd皮膜の測定
微量な素材分析(RoHs):Pb1000ppm以下の確認
「高信頼性」アプリケーションでのPb 3%の測定
硬質材料皮膜の分析

top4 DE XDAL mold cutter big


仕様 XDAL

Zフォーカスレンジ:0-80mm (DCMによる補正使用)
X線源チューブ:マイクロフォーカス型、Be窓、50KV, 50W
X線検出器:PIN 半導体検出管
コリメーター/Filter:Φ0.1 - 0.6mm 4種 / Fiter 3種 自動変更

XDL:標準X線チューブ、PC検出管、固定フィルター・コリメーター(0.3mmΦ)でXDALと同じ筐体使用の標準タイプ
XDLM:マイクロフォーカスX線チューブ、PC検出管、コリメーター4種(0.05角-0.3mmΦ)、Filter3種自動交換



 
Xray11 DE XDV-SDD gold woman big
spacer
Xray11a DE XDV-SDD nonpvc big
spacer

FISCHERSCOPE® XDV®-SDD ☆大気中での高感度測定(高精度XYZステージ)

非常に薄い皮膜の自動測定と微量分析のための、プログラミング可能なXYステージとZ軸を備えた、極めて高度な要求に対応する蛍光X線素材分析器(膜厚計)
未知の素材や大気中でリン(P)やAlの測定ができます。

特徴
万能な使用特性を持つプレミアムモデル
測定スポットサイズやスペクトル組成にあわせた最高レベルの蛍光X線励起能力
高感度シリコンドリフト検出器(SDD) により高感度測定(数100kcp以上のカウントが可能)
極めて低い検出限界と高い繰返し精度
大型でアクセス性の良い測定チャンバ
高速のプログラミング可能な高精度XYステージによる測定自動化

代表的な使用分野
電子産業や半導体産業における非常に薄いコーティングのチェック
RoHS、玩具規格、包装規格に従った有害物質の検証のための微量分析
最高度の精度での金や貴金属の分析
太陽電池産業     
NiP皮膜の厚さと組成の測定

仕様
X線チューブ:マイクロフォーカス型
X線検出管:SDD 高感度Si ドリフトディテクター
コリメーター/Filter:コリメーター4種(Φ0.1 - 3.0mm) / Filter 6種 自動変更式


Xray12 DE XDV mueh display 2 big spacer
特徴
微小分析向けに最適化された測定器
X線光学系に応じて大きさが100㎛またはそれ未満の構造体を分析
強度が非常に高いので精度に優れています
薄膜について< 1 nmの測定不確実性があります
平らかまたはほぼ平らなサンプルにのみ適します
C形スリット入りの大型で広々とした測定チャンバ
高速の、プログラミング可能なXYステージによる測定自動化(アレイ測定)
top2 DE XDV-mu wafer big
Xray15
spacer

代表的な使用分野
基板、リードフレームおよびウェハーにおけるコーティングの膜厚・素材分析
超小型部品や細いワイヤにおけるコーティングの膜厚・素材分析
小さい構造体や小型部品に関する素材分析

仕様
X線チューブ:マイクロフォーカス型
X線検出管:SDD
コリーメーター/Filter:ポリキャピラリ型コリメーター/ Filter4種
最小測定スポット:20-40μm FWHM

応用例
プリント基盤上のコンタクト接点は100μm長のエリアにAu/Pd/Ni/Cu/PCBが塗布されている。AuやPdのコート厚は10-100nmであるが、それぞれを0.1nmとo.5nmの再現性精度で測定。測定スポットは20μmFWHM。


用語:FWHM(Full Width at Half of Maximum value) 半値全幅
DE XUV773 vacuum mirror 2 big spacer
FISCHERSCOPE® XUV®773 ☆☆☆宝石鑑定に最適 (真空中測定)

非破壊材料分析のための、真空チャンバを備えた、極めて高度な要求に対応する蛍光X線測定器

特徴
包括的な測定可能性を持つ汎用プレミアム装置
空気、真空、He中での測定のための、排気可能な測定チャンバ。
Z = 11(Na)以降の軽元素も分析できます
精密でプログラミング可能なXYZステージによる自動測定(アレイ測定)
正確なサンプルポジショニングと小さな部分測定のためのビデオカメラ
 
jewelry-on-XUV
多数の宝石の自動測定
spacer
代表的な使用分野
軽元素の測定
薄い被膜の測定と微量分析
一般的な材料分析と法医学分析
非破壊宝石分析
太陽電池産業


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Xray13 DE XRAY4000 complete big spacer

FISCHERSCOPE® X-RAY 4000  ☆連続ストリップ量産用

特徴
無接触で連続圧延材ストリップを測定
金属被膜系の膜厚と材料分析を一度に実行
測定ヘッドはフレキシブルで頑丈な保護フードは簡単に着脱、複動安全装置を装備
ストリップガイドは簡単に素早くセット可能
高解像度カラービデオカメラにより、試料を正確に非常に素早く位置決め
優秀なソフトを装備*

代表的な使用分野
コンタクト接点連続ストリップや金属コートテープ

spacer
*ソフトウエアの特徴: FISCHERSCOPE® X-RAYシリーズの他の測定器と丁度同じように、FISCHERSCOPE® X-Ray 4000についても、ユニークなソフトウエアWinFTM®がスペクトル分析と測定値処理の中核になります。それによって、非常に複雑な被膜系でも、較正を行わなくても、硬いストリップでの測定精度を予測して測定できます。


Xray13b DE XRAY4000 band big
Xray13a DE XRAY 4000 contacts big
Xray14 DE Xray5000 2instr big spacer

FISCHERSCOPE® X-RAY 5000 ☆高温・真空中で使用できるライン組込み型

特徴
製造設備における連続測定のための内蔵測定ヘッド検出器

検出器:PINまたはSDD
製造フロー自体で工作物マスターを使用する、極めて簡単で素早いキャリブレーション
真空中または周囲空気中で使用可能
最大500℃の非常に高温な下地材でも測定可能
頑丈でメンテナンスしやすい機械的構成
Xray14a DE Xray5000 detector big
ディテクター窓
代表的な使用分野
太陽電池(CIGS、CIS、CdTe)
プラスチックや金属のフィルム上の薄膜の分析・連続製造
スパッタリング設備や電気めっき設備のプロセス監視
大面積のプロダクトについての測定



蛍光X線式膜厚計 ・ 素材分析試験器一覧

モデル名 タイプ 線源位置 ディテクタ 最小測定スポット
mm
目的 特記事項
FISCHERSCORP X-RAY XAN220 固定サンプル台 X線源下 SDD 1mmΦ 素材分析(膜厚)

コリメータ 1
貴金属自動解析ソフト

FISCHERSCORP X-RAY XAN250 固定サンプル台


X線源下

SDD

素材分析(膜厚)

Filter 3 or 6, コリメータ 4 (電動式)
FISCHERSCORP X-RAY XULM 固定サンプル台
大型フード
大型基板サンプル可
X線源下
PC
φ0.15 膜厚(素材分析) Filter 3, コリメータ 4
FISCHERSCORP X-RAY XDL 電動XYZ
大型基板サンプル可
X線源上

PC

φ0.34x0.67 膜厚(素材分析) コリメータ 1
FISCHERSCORP X-RAY XDLM 電動XYZ
大型基板サンプル可
X線源上 PC φ0.1x0.44 膜厚(素材分析) Filter 3, コリメータ 4
FISCHERSCORP X-RAY XDAL 電動XYZ
大型基板サンプル可
X線源上 PIN 0.2x0.62 膜厚・素材分析 Filter 3, コリメータ 5
FISCHERSCORP X-RAY XDV-μ 高精度電動XYZ台
大型基板サンプル可
X線源上 SDD 0.02x0.05
20-40μm
微小部の素材分析 Filters 1 or4
Polycapillaries or
Mirror Optics
FISCHERSCORP X-RAY XDV-SDD 高精度電動XYZ台 X線源上 SDD 0.07x0.27 素材分析・薄い膜厚 Filter 6, コリメータ 4
FISCHERSCORP X-RAY XUV 773 高精度電動XYZ台
真空チャンバー付
X線源上 SDD Na~U間の軽量元素の分析・薄膜測定 Filter 6, コリメータ 4
FISCHERSCORP X-RAY 4000 電動XYZ
ライン組み込み型
X線源上 PC ・PIN・SDD 生産目的別に設定 ストリップ被膜厚・材質 量産用連続測定
FISCHERSCORP X-RAY 5000 電動XYZ
ライン組み込み型
X線源上 PC ・PIN・SDD 生産目的別に設定 ソーラーセルで膜厚・材質 量産用連続測定
SDD :シリコン・ドリフト高感度ディテクター ( Silicon Drift Detector ) 未知の軽元素や微量物質の検出ができる高感度タイプ、
測定元素範囲:Na(11)~U(92)真空中、AI(13)~U(92)大気中 (注)精度・アプリに依存します。
PIN :シリコンPINダイオードディテクター ( Silicon PIN Detector ) 組成が未知のサンプル解析に向く通常感度の汎用タイプ、測定範囲 Cl (17)~U(92)
PC :比例計数管 ( Proportional Counter Tube ) 組成が解っているサンプル向けの汎用タイプ、測定元素 Ca(20)~U(92)